二手 RORZE RA7L018 #9136447 待售

RORZE RA7L018
製造商
RORZE
模型
RA7L018
ID: 9136447
Robot.
RORZE RA7L018是晶片處理程序和等離子體預清潔器的組合,旨在促進微晶片清潔室設施中矽片的高效加載、卸載和處理。其先進的自動化設備將先進的機器人技術與多源氣體輸送系統結合起來,用於矽晶片的精確、可再現的等離子體清洗。RA7L018由不銹鋼制成,以確保長期耐用,並配有強大的三軸機器人臂,最大有效載荷容量為30公斤。它能夠同時支撐多達六個晶片,並且可以接受直徑達36英寸的晶片。提供了多種配置,可為RORZE RA7L018提供最適合給定清潔室設施的布局。為確保等離子體的精確和可重復清洗,RA7L018配備了多源氣體輸送單元和先進的過程控制模塊。該模塊提供對氣體壓力、工藝時間和射頻功率的精確控制,允許用戶針對特定工藝要求微調等離子清洗參數。RORZE RA7L018還具有用於安全和自動化遠程操作的內置遠程設備接口。RA7L018是為最大限度的操作員安全和人體工程學設計的,即使在充滿挑戰的清潔環境條件下也能為操作員提供舒適的環境。晶片加載和卸載過程是自動化的,可以集成到閉環機器中,使操作員可以從遠處安全地操作設備。RORZE RA7L018是一種堅固可靠的自動晶片處理程序和等離子體預清潔工具,可為各種應用提供精確且可重復的結果。它直觀的用戶界面和自動化的系統有助於減少工作時間並最大限度地提高操作員的安全性,從而為用戶提供靈活性和對流程的精確控制。憑借其強大的設計、高效和量身定制的配置選項,RA7L018為世界各地的潔凈室設施提供了先進的晶圓處理和等離子體預清潔功能。
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