二手 RORZE RR304L90-514-001 #9143214 待售
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RORZE RR304L90-514-001是一種先進的晶圓處理設備,旨在幫助簡化復雜的半導體處理任務。該單元由一個機器人部件處理系統、一個自動晶片定向臂、一個XY傳輸表以及一個用於抓握、攜帶、轉移和裝卸晶片的端效應器組成。這臺精密機器是專門為處理稀有或多級載波而設計的,與預期晶圓方向和尺寸的偏差最小。機械零件處理單元由伺服控制單元、電動零件進紙器和裝有EOAT(臂末工具)的機械臂組成,可有效地將晶片從零件進紙器抓取並移動到相關的加工站。機動化零件進紙器包含要裝入機器的零件,並具有用於檢查零件是否正確裝入的傳感器和裝入/卸下零件的閘門。對先進的機械臂進行編程,使其能夠準確、精確地將晶片定位到其加工站,並拾取先前加工過的晶片用於後續處理步驟。這種具有特色的自動晶片定向臂的設計目的是在不影響晶片尺寸或形狀的情況下,以90°方向的精確增量檢測和旋轉晶片。通過保持晶片與其設計的加工方向正確對齊,進一步幫助優化每個加工站的加載時間。XY傳輸表設計用於將運輸的晶片移動到其他加工站,如稀釋、拋光或焊接。這提供了一定程度的精確度和控制,這對於多級或稀有級設備尤其需要。末端效應器是工具的最後一塊,用於在移動過程中抓握晶片,將晶片運送到加工站,在工作站之間轉移,並從設備上裝卸加工後的晶片。總之,RR304L90-514-001是一種堅固可靠的晶圓處理資產,能夠精確地解決復雜的半導體加工難題。機械臂和終端效應器使多個運載工具能夠以安全的方式準確地運輸到各自的加工站,而自動定向臂和XY運輸表則為多級設備提供了必要的對準和定位。該裝置旨在確保晶片的精確處理,同時最大限度地減少缺陷率,從而幫助提高半導體產品的吞吐量。
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