二手 RORZE RR701L 1211-3A3-111-1 #9110996 待售
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RORZE RR701L 1211-3A3-111-1是一種半導體晶圓處理設備。它是專為精密晶圓傳輸而設計的高精度機械臂,可提供三軸控制。該系統由機器人臂、晶圓傳遞裝置和控制櫃三個主要部件組成。機器人手臂由高度精確的剛性鋼軌和機械聯動單元組成。機器人手臂最多支撐三個自由度,並允許機器人手腕的受控定位。手腕允許在角度、俯仰和偏航方面進行調整。晶圓傳輸設備用於傳輸、傳輸和拾取單個晶圓。傳輸裝置包含兩個平行夾具,用於在傳輸和傳輸操作期間將晶片固定到位。夾具提供了一些振動阻尼,以及以90度增量快速旋轉整個晶片的能力。控制櫃包含了整機的主要部件,包括電源輸入、電機的布線、運動控制器、PLC、真空源、操作員面板以及許多外圍控制裝置。所有這些組件的設計使得工具可以協調機器人手臂和晶圓傳遞裝置的運動。RR701L 1211-3A3-111-1通過組合運動實現自動晶圓處理。機器人臂可以在其受控工作區內水平和垂直方向移動晶片,精度非常精確。它還可以以90度增量的水平旋轉晶片,使得晶片方向的快速變化成為可能。晶圓傳輸裝置還提供了一種安全有效的方式,可以移動晶圓並將其轉移到適當的位置,而不會以任何方式損壞或汙染晶圓。一旦設置和配置,RORZE RR701L 1211-3A3-111-1資產將有效地運行,以便在各種應用程序中傳輸和拾取單個晶圓。它在從小規模生產到大規模生產的不同類型的系統中提供可靠和可重復的操作。該模型非常用戶友好,可以由一個人以極少的訓練輕松操作,使其成為自動晶圓處理的絕佳工具。
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