二手 RORZE RR717L1521-3A6-231-2 #9206455 待售

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ID: 9206455
優質的: 2004
Robot 2004 vintage.
RORZE RR717L1521-3A6-231-2是一個半自動晶圓處理程序,專門運輸高達600mm的300 mm晶圓。它設計用於半導體行業的潔凈室和其他高純度空氣環境。RR717L1521-3A6-231-2的核心是一個綜合機械設備,負責以精確的運動、方向和速度處理和運輸晶圓,以及一個操作功能的自動化電氣控制系統。機械單元由兩個直線升降機、一個垂直升降機、一個水平升降機、兩個XYZ軸級和兩個端效臂組成。此組件采用不銹鋼框架,提供堅固可靠的運輸設備。直線升降機負責將晶片傳輸至600mm的高度,而垂直升降機則滿足端效應器必須穿越的較低高度。它們由三個步進電機驅動。由旋轉電動機驅動的XYZ軸級在晶片的運輸和采摘/放置過程中提供了端部效應器的精確運動和方向。為個別功能而設計的終端效應器臂允許同時拾取/放置最多兩個晶片。RORZE RR717L1521-3A6-231-2的電機由X-Y表、基於PC的控制器和EMPROM組成。X-Y Tablein與基於PC的控制器結合使用,通過提供開源編程工具自動進行數據傳輸和晶圓處理。基於PC的控制器控制和監視與資產性能相關的所有操作、記錄數據和狀態信號。還負責自動糾錯和流量控制。EMPROM有助於微調與運動輪廓相關的參數。RR717L1521-3A6-231-2的模塊化設計便於安裝和維修。該模型由互鎖設備和安全鎖定設備提供支持,以保護人員和設備免遭濫用。它符合CE標準,包含FOUP檢測,並且可以通過ESS、SPC和GEM等接口進行通信。RORZE RR717L1521-3A6-231-2重量為400千克,是一款經過驗證且可靠的晶圓處理器,旨在幫助提高半導體生產過程中的生產率。它在大面積清潔室中提供高達600mm 300 mm晶片的自動、穩定和精確自動化。多用途系統由於其集成的控制單元,是在半導體制造和高科技工業中許多應用的理想解決方案。
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