二手 RUDOLPH / AUGUST SWS #9235595 待售

由AUGUST Technologies制造的RUDOLPH/AUGUST SWS（基板晶片設備）是一種用於手動和自動化過程的晶片處理程序。它由兩個自動開縫機器人、一個雙寬晶片裝載機、一個轉運機器人和一個裝有腔室的卸貨站組成。AUGUST SWS的雙寬晶片裝載機設計用於容納寬度高達兩英寸的大型晶片。裝載機可以同時處理4、5或6英寸晶片，並提供了一個模塊化的索引機制，用於可靠的進料。系統中使用的轉移機器人由兩個線性加載臂組成，便於將晶片連續送入SPECTRO或任何其他加工機。轉移機器人已經配備了防止轉移過程中晶圓損壞的安全裝置。這兩個自動開縫機器人可用於在晶片上加載尺寸和質量均勻的縫隙。它們的設計目的是捕獲各種寬度的縫隙和深度可達0.05英寸的縫隙，同時保持晶圓的完整性。每個機器人都有一個可變輸出驅動器和一個限制晶圓解鎖過程持續時間的安全互鎖。該單元還設有一個腔室，適合在加工機器之間裝卸晶片。該腔室具有可調參數，有效防止汙染。總之，RUDOLPH SWS是一個晶圓處理程序，設計用於手動和自動化過程。它有一個雙寬晶片裝載機、兩個自動開縫機器人、一個轉移機器人以及一個適合在加工機器之間裝卸晶片的腔室。這些組件結合在一起，創建了一個可靠和高效的晶圓處理機，能夠提供質量最高的縫隙的均勻性。