二手 RUDOLPH / AUGUST WHS 300MM #9401134 待售

RUDOLPH/AUGUST WHS 300MM Wafer Handler （WHS）是為制造超大規模集成（ULSI）電路而設計的一種機器人接送處理器。這種廣泛的處理程序可以將300毫米晶圓從一個加工站輸送到下一個加工站，從而可以高效、精確地生產高質量的產品。WHS的特點是有一個雙機器人手臂，它能夠以3軸的配置運行，從而實現精確的運動控制。機械臂具有兩個獨立的馬達，允許晶片的兩步處理，包括在一個工作站內旋轉它們進行面處理的選項。WHS配備了最新的真空和壓力傳感器，在放置和移動方面給出了絕對的精度。其廣泛的高級軟件選項使各種晶圓的精確和可重復的處理。WHS能夠識別和處理小至200微米、高至1.2毫米的晶圓厚度。這樣可以實現可重復的放置精度,減少成本和由於在任何給定點錯位而造成的浪費。WHS具有直觀的接口,允許程序檢索和修改,而不會與系統斷開連接。此功能還允許實時控制生產，允許統計控制站點給出指令而不受用戶幹擾。該系統進一步設計為與標準ULSI設備配合使用，如LDIE和NIE。WHS的尺寸為441 x 672 x 953毫米，重量為750公斤，與大多數生產設施兼容。尺寸的設計是為了確保最大生產力，同時仍然考慮到操作員的人體工程學。WHS具有很高的可靠性和效率，能夠持續運作，即使在最惡劣的工作環境中也不會出現任何問題。WHS設計可容納多達50個晶片，其處理速度高達每小時160個晶片。廣泛的設計功能始終確保準確性和最佳性能,這意味著生產產量不會受到影響。此外，WHS帶有內置的安全系統，使操作員能夠舒適地監控操作，並在需要時輕松介入。AUGUST WHS 300MM Wafer Handler是現代生產線必不可少的設備,因為它可以高效地將ULSI晶片從一個站點傳輸到另一個站點,以絕對精確的方式引導它們完成制造過程的每個步驟。它的特點使得它成為任何需要高質量和嚴格標準的生產企業的寶貴資產。