二手 SANKYO SR8240-0002CCR #9296842 待售

SANKYO SR8240-0002CCR是一臺先進的晶圓處理機，設計用於高精度的加工和處理需求。它配備了兩軸X-Y-Z運動設備、載荷傳輸系統以及用於處理200 mm以下晶片的真空卡盤。兩軸X-Y-Z運動單元由兩個線性軸X和Y組成,它們能夠以± 0.01mm的分辨率連續移動。運動機還包括K軸，能夠180°旋轉以更好地定位和保持晶圓。真空卡盤采用嵌入式無刷直流電動機，控制晶片卡盤外力的精度，卡盤可通過力反饋來固定和釋放容量最大達200 mm的晶片。SR8240-0002CCR還具有載荷傳輸工具,該工具包括安裝在線性X-Y運動階段的機械穿梭臂,以及在晶片在位置之間移動時運輸和支撐晶片的幾個組件。穿梭設備可用於晶片的送入和送出，確保晶片的精確處理和放置。這臺機器的設計旨在確保安全和可靠性，以滿足各種過程和處理需要。為確保安全，機器配備了當晶圓處理設備不在正確的操作位置時觸發的安全互鎖模型。此外，該機裝有防親和系統（Anti-Affinity System，簡稱AAS），用於監控和防止操作部件在機器設置、操作和維護過程中意外移動。總體而言，SANKYO SR8240-0002CCR是一個用途廣泛、可靠的晶圓處理程序，提供精確的過程和處理能力。它的兩軸X-Y-Z運動單元和載荷傳輸機使其能夠以速度和精度處理大型晶片，而其安全和監控系統則確保了安全可靠的運行。