二手 SHIBUYA EH 182 #293585948 待售

SHIBUYA EH 182是一款高性能晶圓處理器，設計用於半導體晶圓的自動裝卸。它主要用於半導體制造工藝，用於將晶片盒或前開式盒（FOC）送入和送出諸如蝕刻器、擴散爐和光刻室等工藝領域。EH 182具有8英寸、200毫米和300毫米晶圓的FOC能力，一次最多可處理8個盒式磁帶。SHIBUYA EH 182由幾個主要部件組成，包括機械臂、一套起重電機和一套軸承齒輪。機械臂的設計目的是將盒式磁帶從緩沖區轉移到機器人，而左側馬達的設計則是用來擡起機械臂。軸承齒輪用於在卡帶操作過程中順利進行機器人運動。EH 182配置了三種不同的傳輸類型：翻蓋式、前開式和圓形穿梭式。翻蓋轉移使SHIBUYA EH 182能準確地將晶圓及其基板放置在內部處理腔室中，而前開轉移則在腔室之間來回取出盒式磁帶。圓形穿梭傳輸用於在工具之間傳輸卡帶，並允許多個路由路徑和多個卡帶同時移動。除了傳輸功能外,EH 182還提供高級視覺功能,用於檢查晶圓拾取和放置步驟中的任何缺陷。此功能可進一步保護您免受任何潛在損害。SHIBUYA EH 182配備了用戶友好的功能，以方便自動化過程，如簡單的設置和手動命令。它的內置智能使EH 182能夠以最小的用戶界面以適當的方式對任務做出反應。SHIBUYA EH 182是一款可靠、高性能的晶圓處理程序，提供平滑、準確和可重復的機器人運動。它的高級功能和定制功能使其非常適合自動化和手動環境。結合其經濟高效的設計，EH 182是滿足半導體處理需求的理想解決方案。