二手 SHIBUYA EH 520 #9253524 待售

SHIBUYA EH 520是一款用於半導體和平板器件生產線的全自動晶圓處理器。它旨在通過熱處理、切丁和清潔快速、高效和精確地處理各種直徑、厚度和模具配置的晶片。該裝置具有按人體工程學設計的機器人臂，用於精確處理晶圓，以及用於精確定位的激光檢測系統。EH 520使用專有的計算機視覺導航系統在整個基板處理區域上定位和傳輸晶片。該裝置采用高精度的X-Y線性電動機級，用激光二極管牢固地固定和精確地掃描晶片表面。掃描分辨率對於允許晶片在X和Y方向上精確移動至關重要。SHIBUYA EH 520還配備了夾緊機構，在激光定位後緊緊握住無基板變形的晶片。EH 520有一個集成的可編程處理部分。這部分用於一次大量晶片的並行傳輸，允許更高的吞吐量。該設備還運行一個集成的「palletization」算法，減少將晶片從一個工藝區域移動到另一個工藝區域所需的時間。SHIBUYA EH 520設計低調，為各種應用領域提供了一系列的靈活性。該設備采用模塊化設計,易於維護和擴展。它為運輸、分類和清潔晶片提供了廣泛的選擇，並且可以處理各種熱和機械加工階段，如氧化、電鍍、蝕刻等。EH 520提供卓越的精確度和令人印象深刻的每小時600晶圓的工藝速率。它以非常低的噪聲水平運行,並且經過嚴格的質量和性能測試,能夠滿足最高的可靠性標準。該設備允許與生產線中的其他設備輕松集成,並且可以持續多年,最大限度地降低維護成本,並允許生產線以最高效率運行。