二手 SHINKO LM-ARM-CONT2 #293622429 待售

SHINKO LM-ARM-CONT2是為半導體生產和研究應用而設計的晶圓處理器。該裝置在最佳的環境條件下自動化半導體晶片的加載、卸載和定位。它在超高真空環境下操作，可處理直徑達4英寸的150毫米和200毫米晶圓。LM-ARM-CONT2的核心是一個雙臂機器人，設計用於在裝卸作業過程中對晶片進行平穩、精確的控制。它由兩個獨立的電動機提供動力，並配有一個高度敏感的光學傳感器，該傳感器根據安裝的晶片的參數進行預定的運動。機器人可以配置為處理不同類型的晶片，包括盒式晶片和玻璃基板。另一個特點是在加載或卸載時能夠在兩個位置旋轉晶片，從而最大限度地減少對晶片的潛在損害。SHINKO LM-ARM-CONT2的環境室確保了廣泛的加工溫度和壓力設置，從-50°C到500°C，從0.01 Torr到1大氣壓。此外，該設備還配備了先進的控制系統，可提供安全可靠的操作。控制系統具有可定制的自動化過程，如晶圓預處理和後處理，以及用於晶圓精確對準的高精度網格。為了減少維護時間，LM-ARM-CONT2配備了兩個無維護的非接觸密封件，確保機器人的壽命長。該機器人還具有自動切割功能，能夠精確切割易碎晶片。最後，可選的迷你真空控制系統允許用戶在晶圓處理過程中調節真空水平。SHINKO LM-ARM-CONT2是一款用途廣泛、可靠的晶圓處理器,旨在提供高通量、卓越的精度和最大的自動化半導體處理靈活性。這種高效可靠的設備可輕松集成到多供應商安裝中,非常適合先進的生產和研究環境。