二手 STAR CYS-800FIII-12 #9176567 待售

STAR CYS-800FIII-12 Wafer Handler是一款設計用於半導體行業的半自動、功能齊全的晶圓加工設備。該系統能夠處理不同尺寸的晶片，直徑從2英寸到12英寸，並裝在緊湊的大型機中。大型機可以配置為同時支持多達12個晶片,並且包含晶片處理和處理所需的所有組件。該單元的核心部件包括用於移動晶片的輸送機、用於識別圖案晶片的視覺工具、最多六個不同機器人臂的工業機器人以及用於測量晶片溫度的高溫計。資產還包括一個集成的用戶界面，允許操作員監視、配置和控制晶圓處理過程的各個方面。輸送機模型能夠在工藝和機器人臂之間運輸晶片，向加工站供應晶片並在循環結束時沈積在冷卻室中。視覺設備能夠讀取晶片表面並識別圖樣和形狀以檢測有缺陷的晶片。機器人手臂又配備了6軸機械手臂，可用於精確定位和撥放操作。該高溫計用於測量腔內溫度，能夠檢測任何溫度變化，可用於調諧和優化晶圓處理過程。此外，該系統還具有用於緊急停車和其他安全檢查的內置安全協議。Wafer Handler中組件CYS-800FIII-12集成旨在最大限度地減少對體力勞動的需求,確保可重復性和質量控制,並為加工晶片提供安全可靠的環境。該單元適用於研發和生產級應用中的大容量晶片加工。