二手 STAUBLI RS80 #9109373 待售
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單擊可縮放
STAUBLI RS80是一種晶片處理程序,旨在為轉移半導體晶片提供高精度的單臂操作。該設備包括一個由力控制的6軸機械臂和7個馬達,可以精確定位晶圓。機器人的驅動系統以線性電動機為基礎,為用戶提供高速、高加速度和高分辨率。處理單元可以支撐直徑最大為8英寸的單個晶片。它還具有處理各種厚度和配置的多個晶片的能力。晶片處理端效應器設計為在處理過程中不壓緊晶片而握住晶片,從而將晶片斷裂的風險降至最低。此外,機器人手臂還裝有保護外殼,以保護其免受環境危害。RS80還配備了一系列安全功能。這些措施包括:安全互鎖,防止手臂在使用者進入防護裝置時移動;緊急停止開關,以在緊急情況下使手臂迅速停頓;輕型窗簾機,防止機器人手臂進入限制區。除了安全功能外,STAUBLI RS80還采用懸臂電機驅動,最大限度地減少了腳印,並便於維護和安裝。該機器人由先進的閉環工具提供動力,該工具可消除反沖並減少振動和幹擾,從而提高精度。這個機器人臂可以使用多種軟件語言進行編程,包括RobotControl™,這是STAUBLI提供的一種專有語言,用於控制他們的機器人。機器人也與PC控制系統兼容,允許用戶從自己的機器上控制機器人。總體而言,RS80是一種高性能、高精度的晶圓處理資產,非常適合半導體生產環境中使用。其安全特性、受力控制的運動能力和一系列軟件程序使其成為自動晶圓處理操作的理想選擇。
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