二手 STAUBLI RX130 #293767434 待售

Stäubli STAUBLI RX130是一個半導體晶圓處理器，設計用於傳輸和處理直徑達300 mm的晶圓。RX130允許為各種應用程序（包括光電、MEMS、CMOS和其他需要潔凈室環境的高精度流程）快速準確地處理晶圓。STAUBLI RX130采用模塊化設計,具有靈活性和可調節性。晶圓處理程序由一個端點夾具、一個樞軸臂、兩個傾斜執行器和一個用於同步所有運動的中央控制單元組成。端點夾持器設計用於將晶片固定到位,而樞軸臂設計為將晶片旋轉到所需位置。傾斜執行器對每個晶片的精確方向提供精確的控制，並調整晶片相對於其原有傾斜位置的傾斜角度。RX130晶片處理程序設計為在低振動和低噪聲的情況下運行,非常適合敏感清潔環境中的晶片處理。晶圓處理器還包括自潤滑元件，減少了定期維護的需要，可以延長該處理器的使用壽命。此外,STAUBLI RX130還配備了一系列安全功能,確保晶圓處理程序在封閉的安全區域內運行,並隨時監控其正常工作和位置。此外，集成的最先進的控制器使用戶能夠為晶圓處理程序編程任意數量的晶圓處理任務。此控制器允許用戶控制晶圓傳輸的速度、坐標點和端點。此外,控制器還配備了警報、監控系統和傳感器,以檢測任何異常活動並向用戶發出警報。總體而言，Stäubli RX130是一個用途廣泛、可靠的晶圓處理程序，設計用於在潔凈室環境中傳輸和處理直徑達300 mm的晶圓。它具有模塊化的靈活性設計,並采用低振動和低噪聲級別以及自潤滑組件進行設計,以確保使用壽命長。包含的最先進的控制器使用戶能夠對晶圓傳輸進行編程,並提供安全監控和警報以檢測異常活動或功能。