二手 STAUBLI RX60 #9205956 待售

STAUBLI RX60是設計用於半導體制造應用的晶圓處理器。該設備配備了簡單、緊湊的設計，並擁有堅固的組件，能夠精確、可靠地處理晶圓。RX60包含了多種關鍵特性,包括雙軸運動控制、精確定位能力和接受各種晶圓尺寸的能力。它的多軸設計允許水平和垂直運動，可以容納一系列不同類型的晶圓，包括單面或雙面、圓形、正方形或矩形。STAUBLI RX60配備了自動晶圓處理臂，能夠支撐多達200個晶圓位置。手臂由陽極氧化鋁和不銹鋼構成，並由伺服電機系統提供動力，以確保精確、可重復的運動。此外,手臂還具有氣動真空系統,可牢固地固定和釋放晶片。RX60的定位精度也非常精確，可重復性精度為0.04mm，分辨率為0.002mm。此外,該設備能夠處理60m/s的最大速度,從而能夠快速高效地處理晶圓。為了增強安全性，STAUBLI RX60配備了多種安全功能，包括緊急停止按鈕、脫離式安全輪、互鎖機構。此外，該裝置被評定用於危險區域，如潔凈室和其他含有揮發性化合物的地點。總之，RX60是一個高度可靠和精確的晶圓處理程序，適用於各種應用。其耐用的設計、精確的定位精度、高速容量和安全機制使其成為半導體制造環境中的絕佳選擇。