二手 STAUBLI RX60 #9205957 待售

Stäubli STAUBLI RX60是用於自動化半導體制造過程的多軸晶圓處理程序。該晶片處理程序采用精確的多軸運動系統,具有高度可靠和堅固的設計,能夠安全、精確地處理直徑150 mm的6個晶片。RX60設計為直接安裝在生產線環境中的自動化設備平臺上,並為晶片加載、卸載、篩選和相關過程提供優化的解決方案。STAUBLI RX60 Wafer Handler利用步進電機提供卓越的運動能力,並提供伺服電機選項以提供更高的精度。所有軸都通過單個定時帶驅動,並且可以單獨控制以實現運動同步。一系列的齒輪比可提供不同的可重復性水平和優化的速度。這款晶圓處理器配備了選擇性的電氣和機械晶圓處理系統，以及兩種晶圓夾緊系統的選擇。機動化臂采用機動化晶片夾緊機構，確保晶片的牢固附著，防止運動漂移。此外,氣動晶片夾緊機構還具有柔和的觸摸功能,可將晶片輕輕地靠在手臂上並提供額外的穩定性。所有組件都設計為免費維護,並安裝在緊湊的車身中,非常適合空間受限的設備。RX60 Wafer Handler具有模塊化wulf模塊,便於與各種設備平臺集成,以及高級遠程接口,可用於監視和控制各種參數。Wulf模塊還支持同時輸入和輸出，允許連接多臺機器以增加便利。Stäubli STAUBLI RX60是一個先進的晶圓處理器，專門為自動化半導體生產過程的準確性和可靠性而設計。它具有緊湊的模塊化設計,具有一系列高效的運動能力,可選的電氣和機械處理系統,以及氣動或機動化晶片夾緊功能,以確保晶片在不發生運動漂移的情況下安全傳輸。先進的遠程接口可以方便地監視和控制所有參數,並為晶片加載、卸載、篩選和關聯的半導體過程提供了最佳解決方案。