二手 STAUBLI RX90 LCRfsi #9255544 待售

STAUBLE STAUBLI RX90 LCRfsi是用於自動運輸、檢查和計量系統的晶圓處理程序。它被設計用來轉移晶片和其他基材的形狀或材料，以最小的失真快速和準確。其獨特的LCR（線性笛卡爾機器人）設計確保了平穩、快速的移動和無與倫比的精度。它使用專有的Smooth Spindle Drive （SSD）沿著X、Y、Z三個軸創建線性運動，這使得機器人可以向上移動到5,000毫米/秒的速度，所有軸的分辨率都超過1微米。該RX90還配備了力反應式懸架（FRS）系統,該系統可自動保持一致控制的抓地力,無論基板尺寸或形狀如何,並確保在運輸過程中牢固地抓住基板。這減少了在機器人的抓地力中刮擦、脫落或以其他方式損壞基板的風險。它還具有集成視覺系統，能夠檢查和測量分辨率高達1.5 μ m的基板。RX90的高度精確的LCR設計也讓它在前向和反向運動中都能保持總共16度的自由度。這有助於最大限度地減少其他機器人系統中常見的擺動,並確保晶圓始終在任何給定時間點精確定位。此外，它的設計確保了整個傳輸路徑上均勻的基板支撐，減少了振動和碰撞的風險。總體而言,STAUBLE RX90 LCRfsi是一款創新且用途廣泛的晶圓處理器,專為半導體行業中的高端工藝而設計。其先進的LCR設計、直觀的力無功懸掛和集成視覺系統使其成為任何制造實驗室的理想選擇。它能夠以最高的效率和精確度傳輸和檢查基板,速度高達5,000毫米/秒,分辨率高達1 μ米。