二手 STAUBLI RX90 #9009146 待售
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單擊可縮放
ID: 9009146
優質的: 1997
6-axis robot arm
Nominal load capacity: 6 kg
Maximum load: 11 kg
Reach: 985 mm
Repeatability: 0.02 mm
Mounting: floor or ceiling
Rated robot motion speed:
Axis 1: 240º/s
Axis 2: 200º/s
Axis 3: 286º/s
Axis 4: 401º/s
Axis 5: 320º/s
Axis 6: 580º/s
Power: 208 V, 3 phase, 4000 VA
Cabinet has outputs for 4 additional axes (3 were used with Adept linear modules)
Controller hours: 57944
Broken interlock wiring
Includes:
Staubli CS7 RX90 control cabinet
Staubli RX90 robot arm
Applied Robotics QuickSTOP QS-100NP-T3 quick change hand
Software: Adept AIM System Version 3.1D1 with Robot, ADX, MotionWare, Cell Statistics, PM Trackign modules
1997 vintage.
STAUBLI RX90 Wafer Handler是一個機器人，設計用於在工廠自動化中實現安全高效的晶片處理，需要一次傳輸多個晶片。該機器人由五個部件組成：執行器、控制設備、晶片夾持器、晶片支撐板和底板。該執行器由經過優化的雙臂系統和三個高性能電機組成，每個電機最多可支撐255Kg個。控制單元是一種高性能的伺服控制機器，可預編程，允許快速精確的移動。晶片支撐板由不銹鋼制成，並配有防止氧化和耐汙染物的礦物質填充聚碳酸酯塗層。晶片夾持器被設計成在晶片上提供一個安全的保持，而不會損壞晶片邊緣或在過程中造成翹曲。底板提供了一個將機器人部件安裝到工廠車間的安全平臺。機器人可以在X、Y、Z軸中以三個自由度移動，以及圍繞底板旋轉。它能夠以高達600mm/min的速度精確傳輸多達四個8英寸晶片。此外，機器人的動態觸角達到610mm，能夠將晶片擡高至700 mm。STAUBLI RX 90晶片處理程序的設計是為了最大限度地提高晶片處理過程的效率，並限制汙染和損壞晶片的風險。它還具有先進的安全功能和方便操作的人機界面。RX90 Wafer Handler是工廠自動化的可靠和先進的解決方案。其卓越的性能和堅固的設計使其非常適合各種應用。憑借其高速性能、先進的安全特性和優化的設計，RX 90晶圓處理程序是廣泛的晶圓處理操作的絕佳選擇。
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