二手 STAUBLI RX90B CR #9209736 待售

STAUBLI RX90B CR是用於200 mm和300 mm晶片的水平集成全回路晶片處理程序。它是一種先進的晶圓處理設備，設計用於自動通過潔凈室或實驗室環境傳輸晶圓。RX90B CR具有閉環控制功能,具有多過程功能,可用於高精度、高容量的晶圓處理應用。該系統配有一個可編程的機械臂、一個基於視覺的攝像機單元和一個徹底的PLC/HMI（可編程邏輯控制器/人機接口），用於自動監測和跟蹤晶片。機器的機械臂的活動範圍可達500毫米,並有七個軸,在自動運輸和存儲過程中,可進行高達400克的精細晶圓處理。此外,機器人的設計還可以防止在轉移過程中由於碰撞而造成的損壞。機器人每小時最多可以傳輸250個晶圓，或者在多機床中每小時最多傳輸3600個晶圓。該資產還提供基於視覺的攝像頭模型和全自動跟蹤設備，確保晶圓識別和傳輸的完全自動化。這是通過光學識別和條形碼讀取活動相結合來實現的。此外，系統有各種安全系統，包括E-STOP和安全門聯鎖，防止危險情況，保護人員免受傷害。最後,該單元完全可編程,這意味著您可以對所有進程和設置進行有效編程。這包括運動、路徑和速度數據,並與PLC/HMI結合,創建了一個幹凈高效的晶圓傳輸機器。由於可以對工具進行專門編程和配置以滿足任何客戶需求,因此可以根據任何環境定制該工具。資產也極其可靠，並提供恒定的反饋，確保每次不間斷和安全的晶圓傳輸過程。