二手 STAUBLI STS 100-82 #178863 待售
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Stäubli STAUBLI STS 100-82晶片處理程序是一種專門的機器人裝置,旨在方便半導體生產線中晶片基板的精確裝卸。STS 100-82設計用於半導體生產環境中晶片的手動裝卸。它具有兩個獨立的臂,每個臂支撐兩個運動軸。底座安裝在低調的架子上,非常適合低間隙安裝。機器人使用高精度傳感器和控制器操作,使其能夠以極高的精度執行晶圓處理過程。用戶可以對機器人進行編程,以便調整手臂的速度和運動,以及施加在晶片上的壓力。該設備能夠同時抓握和釋放多達八個晶片。該系統裝有集成的高分辨率攝像頭,用戶可以在開始生產之前確保晶片基板的正確對準。這有助於最大限度地減少基材工藝中的任何潛在錯誤。STAUBLI STS 100-82晶片處理器的放置精度極佳,x和y軸偏差± 3.2µm,z軸偏差± 0.02mm。這樣可以確保晶片工藝中不會出現基板不對齊的情況。機器人的預編程也可以保存並重新加載,以便自動化生產啟動。這使得設置時間最短,從而實現了不同生產需求之間的精確和快速轉換。可通過編程圖形用戶界面命令機器人。用戶可以使用此界面與機器人交互,其中包括速度和加速度調整以及位置控制的命令。該單元還配備了安全控制器,可防止不受控制的移動,並在發生任何常見故障時自動執行安全關閉。這保證了操作員的安全和機器人機器的穩定性。總體而言,Stäubli STS 100-82晶圓處理程序是半導體行業精密晶圓處理工藝的絕佳選擇。該工具提供了高可重復性精度、圖形用戶界面和全面的安全組件。自動化的預編程功能減少了設置時間,並提供了簡化的工作流程,最終最大限度地減少了停機時間並提高了工作效率。
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