二手 STAUBLI TX60 L #293768326 待售

STAUBLI TX60 L是用於半導體制造的最先進的晶圓處理器。這種先進的晶圓處理自動化設備提供高精度晶圓傳輸控制，有助於優化半導體晶圓廠的生產過程。該系統由可靠、伺服驅動的STAUBLI MPS-6多軸定位單元提供動力。STAUBLI TX60L能夠支持多達10個用於不同晶圓尺寸（包括8英寸、12英寸和更大）的單光圈加載端口。它支持多達四個機器人臂，用於高效和同時的真空晶片裝卸。TX60 L還具有掃描和加載功能,使其能夠在傳輸晶片之前自動檢測晶片的存在。它可以配置為支持各種機器人路徑，自定義晶圓傳輸、對齊和操作過程。它帶有符合人體工程學的圖形用戶界面（GUI）,便於遠程計算機監控。它還包括一個高精度和可重復性的對齊工具。此外,它的可擴展體系結構使操作員能夠輕松添加更多組件,如轉移臂、加載端口和工作站。TX60L還具有先進的安全功能，以提高操作安全性。它配備了STAUBLI安全資產（SSS1002），符合國際公認的機器人使用安全標準，EN ISO 13849-1。此外,STAUBLI TX60 L的設計目的是在處理敏感晶片時最大限度地減少環境汙染和產品損壞。其先進的晶圓處理真空模型確保了準確的過程，同時防止了空氣泄漏。總體而言，通用的STAUBLI TX60L滿足了半導體行業對晶圓處理自動化日益增長的需求。它提供精確的晶圓運動，提高生產力和提高安全性，使其成為半導體操作的理想選擇。