二手 STAUBLI TX60 #9191514 待售

STAUBLI TX60是為半導體生產而設計的先進晶圓處理設備。系統可以處理直徑達300 mm的晶片。這種晶圓機械手具有高度精確、運動控制的管線，可容納多達60個晶圓，使其能夠快速準確地將晶圓從一個工作站傳輸到另一個工作站。TX 60的主體由兩個伺服驅動的手臂組成，可以在兩個獨立的軸上鉸接。這樣可以進行精確的移動,同時保持穩定性和準確性。臂與臂之間的單個線性軸相輔相成，使單位的整體運動範圍超過30度。主軸還配備了真空夾緊機，用於晶片的安全處理。STAUBLI TX60由STAUBLI專有的CNC-IC Tool控制,這是一種具有高度精確協調能力的專用運動控制資產。這使得各種運動軌跡具有非常低的誤差範圍,從而確保了精確和一致的過程。該模型還有兩個集成傳感器，可以檢測錯位和變形，允許快速和準確的校正。此外,TX60還具有直觀的控制面板、四個觸摸敏感按鈕、清晰的顯示屏和圖形用戶界面。這使得用戶更容易監控設備操作和設置流程。該系統還集成了其他組件，例如用於更好晶圓處理的6軸機械手和用於各種功能的附加模塊，如晶圓排序。STAUBLI TX60是一個先進的晶圓處理單元，設計的最大精度和性能。它結合了運動控制功能、傳感器和直觀的用戶界面，使其成為半導體生產的理想選擇。憑借堅固可靠的部件，機器一定能滿足最苛刻的要求。