二手 STAUBLI TX90 XLSCRfsi2 #9294303 待售
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STAUBLI TX90 XLSCRfsi2是一種晶圓處理器,其設計目的是滿足半導體制造中對更高的吞吐量和精度的需求。它是一個六軸中型機器人平臺,提供卓越的性能、兼容性和可重復性。STAUBLI TX90是建立在一個剛性,持久的基礎框架,提供穩定和運動控制。它配備了一個先進的位置控制器,同時引導和控制六個軸中的每一個軸,使系統能夠平穩、精確地移動機械手臂。控制系統能夠在操作過程中計算和監控每個軸的位置。機器人被封閉在不銹鋼外殼中,以提供環境保護。STAUBLI TX90設計用於處理直徑不超過12英寸的晶片。它具有電機驅動的平臺頭,可以配置為接受各種晶圓尺寸。機器人手臂上有一個末端效應器,它安裝在手腕上以固定和操縱晶片。機器人配備了精密的直線運動導軌和高扭矩驅動器,使機器人能夠高精度地移動。STAUBLI TX90為要求苛刻的生產應用程序提供了高水平的性能和可靠性。機器人的循環時間為0.3秒,可重復性為± 0.004"。機器人可以輕松有效地融入現有生產線。它的最大有效載荷容量可達44磅,能夠在0-40°C的溫度範圍內工作。STAUBLI TX90的設計符合半導體行業的要求,非常適合晶圓傳輸等應用,確保無缺陷晶圓處理。機器人臂的先進特性使其成為高通量、高精度半導體加工的理想選擇。
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