二手 SWECO ITAL-500 #9392922 待售

SWECO ITAL-500晶片處理程序是一種機器人設備，設計用於精確控制半導體加工環境中晶片的串聯流動。它設計用於需要多個晶圓處理序列的應用，包括epiwafer制造、晶圓探針和其他相關系統。ITAL-500由機電晶片裝載機、晶片傳輸機構、主軸驅動器和可選的狹縫臂單元組成。機電晶片裝載機設計用於裝載多達100個晶片。裝載機內置一個遊標標尺，用於精確公差測量，放置在靠近機器人噴嘴的板可以從裝載機中拾取晶片而不會造成接觸損壞。這樣可以確保晶片的重復和準確加載。晶圓傳輸機制沿內部軌道提供精確和可重復的運動，允許晶圓進行多次拾取和輸送操作。該機構設計用於支持x軸和y軸中的+/-1mm運動,以及z軸中的+/-0.5mm運動。集成的主軸驅動器提供可調節的速度和方向控制,以便在運輸過程中精確處理晶片。速度控制可從每分鐘0轉到6000轉進行調節，而方向可以在順時針和逆時針兩種模式下獨立設置。可選的狹臂單元是為系統內晶片的精確對準而設計的。提供晶片導流渦流以防止晶片碎裂，同時可調節精細的兩軸運動以幫助保持晶片的對齊。SWECO ITAL-500配備了多種安全功能。隨附的雙手安全切換使操作程序能夠啟動而不必擔心運動錯誤。每個拾取點和送出卸載點之間的運動限制由家庭交換機監控,以保護機構不受任何外部幹擾。此外，還提供了300微米的接近傳感器，用於檢測晶片裝載機在裝卸過程中的任何障礙物。為了最大限度地提高ITAL-500的運行效率，提供了觸摸屏控制器和教學掛件。控制器設計用於晶圓處理所需的各種參數的數據輸入，而教學吊墜則允許對多個晶圓處理序列進行編程。此外，該機器人可通過以太網輕松集成到現有設備中，成為半導體制造項目的理想解決方案。總體而言,SWECO ITAL-500晶圓處理程序是需要多個晶圓處理序列的半導體處理應用的理想解決方案。它的一系列特點和安全措施允許對晶片進行精確和可重復的處理，而其直觀的控制器和教學吊墜則可以方便編程和操作。