二手 TAKATORI TRO-25C #9358487 待售

TAKATORI TRO-25C
ID: 9358487
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Wafer transfer unit, 6" 1998 vintage.
TAKATORI TRO-25C Wafer Handler是一種專門為安全處理半導體加工中使用的易碎晶片而設計的機器人材料處理設備。該單元配備了精確的Z軸運動控制系統,使晶片能夠安全地提升和運輸到所需位置,而其超大的操作範圍使其適合用於半導體加工室和工廠。TRO-25C采用耐用、輕巧的鋁制框架,采用低調設計,可最大程度地減少與晶片表面的接觸。該單元由直流電動機供電,由先進的運動控制單元控制,提供精確可靠的運動。它的進紙器和接收器設計成可以輕松處理多達25毫米的晶圓,並且可以調整到不同的高度和角度。TAKATORI TRO-25C具有很高的靈活性,可以方便地進入腔室,甚至可以與真空機一起使用。該裝置配有兩個晶片夾具-真空夾具和機械拾取夾具-以安全地處理不同尺寸和厚度的晶片。晶圓夾持器裝有不銹鋼膜,可以保護它們免受汙染物的汙染,而其潔凈室兼容的設計可以防止晶圓受到任何汙染。TRO-25C帶有兩個視覺系統-一個Cognex視覺工具和一個MVS視覺資產-以確保晶片與處理平臺的精確對齊。其集成的安全特性包括一個外部E-stop和雙臂聯鎖保護裝置,保護晶片在裝卸過程中不被損壞。該設備還具有自動錯誤感測模型,用於檢測操作過程中發生的任何錯誤。TAKATORI TRO-25C是各種類型的半導體器件制造工藝如裝配、測試和器件制造的理想選擇。其堅固的設計和可靠的操作保證了晶片的安全處理,而其高度的靈活性使其適合不同類型的加工室。
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