二手 TAKATORI TRO-25C #9358488 待售

ID: 9358488
晶圓大小: 6"
優質的: 1998
Wafer transfer unit, 6" 1998 vintage.
TAKATORI TRO-25C是一款高性能晶圓處理器,設計用於半導體和電子制造的批量生產。它提供高速、準確的操作,能夠高效制造設備。TRO-25C由兩個臂組成;用於處理晶片的外臂和具有吸力和固定器功能的內臂。外臂具有高速直線運動,可以將晶片精確定位到內臂上。內臂有真空設備,以低殘余力固定晶片,連同持有人和蓋子,以確保邊緣壓力均勻,防止晶片斷裂。晶片表面由一個空氣緩沖保護,該空氣緩沖填充到內臂上的高真空。使用計算機數控(CNC)系統,TAKATORI TRO-25C可以達到極高的精度。這是由於執行器的電機轉速和精度高,以及每個手臂在驅動模式之間切換的能力,包括高精度定位模式、居中模式、快速模式和常規速度模式。TRO-25C專為單晶片和多晶片工藝而設計,能夠處理高達8英寸的晶片。這是通過手臂能夠實現的精細角度和平移運動來實現的。外臂裝有一個特殊的機構,可以捕獲和輕輕移動晶片,同時保持晶片周圍的氣壓均勻。TAKATORI TRO-25C與大多數晶圓尺寸兼容,範圍從100mm-200 mm晶圓直徑。這允許靈活性和較高的生產率。此外,TRO-25C還配備了一個自動校準和一個汙染管理單元,以及一個目測機器,用於監測和檢測晶圓處理過程中的異常。總體而言,TAKATORI TRO-25C是一款專業級晶圓處理程序,由高質量的組件構建而成,可提供卓越的精度、高速操作和高效的晶圓處理。這款晶圓處理器具有復雜的特點,非常適合電子工程和半導體制造中的批量生產任務。
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