二手 ULVAC COVOT-6-X5A #293642937 待售

ULVAC COVOT-6-X5A是一種晶片處理程序,用於測試和加載半導體晶片。它是一種緊湊的設備，使用真空平臺和一對機械臂將晶片從一個站移動到另一個站。該系統包含一個溫度控制器,可確保測試操作的溫度穩定性,且材料公差非常低。COVOT-6-X5A晶圓處理程序具有6英寸晶圓容量,每個工作站最多可容納2個工具。為了確保晶片的精確傳輸和處理，該單元使用了一種基於真空的處理機，支持從卡盤到卡盤的真空操作。它還有一個有效的真空接口，利用一個虛擬平面正確的高度定向。機械臂的運動由一個包含人機界面（HMI）的基於PC的控制器控制。它還提供了一個配方程序編輯軟件，允許用戶為每個晶圓優化測試和操作配方。集成軟件工具提供預測性維護功能,並監控資產狀態以實現數據控制和可追蹤性。模型的溫度控制器使用Peltier電池來保持溫度穩定,最高可達100 °C。它支持每個單獨工具的集成溫度設定點控制操作。集成溫度控制器還具有一個自適應PID控制,以保持過程的準確性。ULVAC COVOT-6-X5A晶片處理程序具有開放式體系結構和大型訪問窗口的人體工程學設計。直觀的交換機和視覺指示燈包括在設備上,以及對板載故障排除菜單的訪問。它還具有用於監測超速和疏散階段的數字I/O模塊。COVOT-6-X5A晶圓處理器是在半導體、微機電系統和光電生產過程等行業中進行多次加載、測試和測量操作的理想選擇。它結合了高效的計算機控制機械臂、可靠的溫度控制和廣泛的安全特性，使其成為一個非常通用可靠的系統，使其能夠滿足現代生產工藝的需求。