二手 ULVAC COVOT-6-X5A #293664110 待售

ULVAC COVOT-6-X5A是一種晶片處理程序,旨在為矽和非矽基板提供高效可靠的晶片傳輸服務。這種晶圓處理程序具有模塊化和靈活的體系結構,可提供卓越的獨立操作或集成到現有工廠自動化系統中。COVOT-6-X5A能夠處理尺寸不超過200毫米的單個晶片,工作溫度範圍為15°C ~ 40°C。晶圓處理程序的特點是內置清潔室環境控制到高A/C ROOM （ISO Class 4）,具有相對濕度控制（20 ~ 70% RH）,顆粒數為0.03 μ m（使用ULVAC-ICP3過濾設備）。序列程序基於PC,通過EMME/3軟件進行簡單的程序修訂。這確保了產品配置、程序創建、維護和數據記錄的簡單直觀。ULVAC COVOT-6-X5A處理程序有一個內置的冷卻器冷卻系統，有四個獨立的冷卻區，用於基板冷卻。它包括自動卡帶交換和卡帶卸載到FOUP（或其他GAP）與一個可選的雙臂處理程序更剛性的基板。晶圓傳遞單元配置包括雙臂抓取，最多20個晶圓在一起，它可以被編程為兩個傳輸軸和多臂控制機器人與多個旋轉滑動機運輸和操縱晶圓。夾緊工具采用高剛度氣動噴射器和風吹式後壓裝置，用於可靠、安全的基板處理。COVOT-6-X5A的布線監視器包含多個內置的安全裝置，以防止因布線斷開而造成錯誤。這款晶片處理程序配備了PFA覆蓋的皮帶，包括一個帶有專用編碼器的微步電動機，用於精確晶片定位，並且可以與現有的客戶工廠自動化資產集成，或者作為獨立型號運行。為了確保操作可靠性，ULVAC COVOT-6-X5A晶片處理程序除了進行操作檢查驗證外，還利用診斷功能進行設備警報分析和維護日誌記錄。它還設計用於通過X射線CT系統減少維護操作。此晶圓處理程序符合CE標準,包括帶有鍵盤的天花板控制臺和一對大型顯示器。