二手 ULVAC COVOT-6 #293664113 待售

ULVAC COVOT-6是一個超低汙染的6英寸晶圓處理器，提供可靠的晶圓處理能力和超低汙染環境。該晶圓處理器的設計滿足了半導體生產應用的嚴格要求。COVOT-6配有延長長度的卡盤，可提供更大的真空持有力和更好的平面度。其操作流暢，確保了高性能晶圓的交接和交付。處理程序的緊湊設計提供了節省空間的解決方案,其靈活的加載站包括用於6「和8」晶圓的適配器以及用於對齊端口的端口。晶圓處理程序還包括幾個功能，提供了一個高水平的汙染控制。一種特殊的三重密封系統通過限制顆粒進入密室，有助於減少加工室內外的汙染水平。不銹鋼部件的使用有助於進一步減少潛在的汙染源。處理程序的尺寸和空氣汙染抑制層使晶片在夾具和夾具中的傳輸更快、更容易。ULVAC COVOT-6 Wafer Handler還具有多項安全功能,例如用於提醒用戶溫度或真空變化的警報系統、進氣口和出口的空氣阻尼器以及排氣側的壓力鎖定。綜上所述,COVOT-6 Wafer Handler是一種超低汙染、節省空間的解決方案,旨在滿足半導體生產應用的嚴格要求。其功能提供了可靠、安全的晶圓處理、超低汙染環境以及多種安全功能。緊湊的設計和延長的卡盤提供了平穩的操作，而三重密封系統和不銹鋼部件有助於減輕汙染的風險。