二手 ULVAC COVOT-6 #293664118 待售

ULVAC COVOT-6是一種先進的晶圓處理設備，設計用於處理各種尺寸的半導體晶圓，包括200毫米和300毫米晶圓。它具有很高的可靠性，並且在單個平臺上運行了許多過程步驟，提供了晶圓的高效傳輸和定位。COVOT-6由一個主單元、兩個機器人臂和一個機器人手組成。主機裝有各種系統，包括控制模塊、電源單元、通信板和安裝機器人手臂的工具。兩個機器人臂，每一個都可以獨立或串聯移動，能夠轉移和定位200毫米大小的晶片。機器人手用於從夾具或托盤中抓取和釋放晶片。機器人手臂裝有五軸沖頭和監控和控制晶圓運動的視覺系統。機器人單元使用許多命令進行編程,使其能夠執行各種操作,如對齊、傳輸和晶片定位。它還能夠根據所處理晶圓的類型來改變速度、力和加速度。此外，該機器還包括使用環境控制裝置保護晶片免受環境汙染的特性。此單元在處理前過濾和清除刀具中的異物顆粒。總體而言，ULVAC COVOT-6是一種先進且高度可靠的晶圓處理程序，可在單個平臺上提供高效的晶圓傳輸和定位。其卓越的性能和特點使其成為各種半導體工藝的理想解決方案。其先進的傷害預防機制保護晶片免受機械損壞，其環境控制防範汙染。COVOT-6為處理任何類型的晶圓提供了高度的受控操作。