二手 ULVAC COVOT-6 #293664119 待售

ULVAC COVOT-6是為半導體晶圓處理應用而設計的晶圓處理設備。它是一個完全自動化的可編程晶片處理系統,能夠處理6英寸以下的晶片和4英寸以下的晶片堆棧。COVOT-6使用可靠的機器人技術和精密控制器相結合,在從一個工作站轉移到另一個工作站時對晶片和基板進行平穩準確的處理。該單元由一個集成的晶片裝載機、兩個晶片處理機器人、一個空氣承載定位器和六個處理對齊器組成。機械臂具有兩個獨立的高速6軸機器人，在晶圓處理方面提供可重復的精度和靈活性。這些機器人能夠在最大扭矩控制下精確定位和移動晶片。ULVAC COVOT-6提供高精度和可重復性的定位與它的空氣軸承定位器，其特點是精密直線電動機為其單獨控制的三個階段。它還包含六個板載微處理器和軟件控件,允許每個對齊器對齊晶片以實現可重復的精度和吞吐量。晶圓處理機通過可以為每個應用程序定制的人機接口（HMI）系統進行編程和控制。它還配備了集成傳感器，監控晶圓在轉移過程中的位置和狀態，並相應調整機器人手臂的運動。這使生產質量和吞吐量最大化。最後,COVOT-6配備了遠程監控工具,使操作員能夠輕松訪問與資產性能相關的數據。從而允許操作員優化模型操作和過程，同時提高晶圓產量。ULVAC COVOT-6是一種理想的半導體工藝晶片處理設備,因為它保證了在各種工業應用中晶片處理的精確度。其強大的機器人技術確保了性能的速度、精度和可重復性,顯著提高了吞吐量,並為整體生產力做出了貢獻。