二手 ULVAC COVOT-6 #293664122 待售

製造商
ULVAC
模型
COVOT-6
ID: 293664122
Robot.
ULVAC COVOT-6是一種全自動晶片處理程序,旨在提供6英寸晶片的高精度傳輸和處理。它用於半導體工業中,用於將晶圓從一個地方轉移到另一個地方,並將其定位在特定的地方,如烤箱或熔爐。設備由主框架、機械臂、視覺系統、控制板和輸送機單元組成。COVOT-6主框架堅固耐用,設計緊湊,可提供最佳性能,而不會占用太多空間。機械臂設有六個插槽,可容納6英寸晶圓。視覺機器提供每個晶片的高分辨率成像,用於精確定位。此外,機械臂還配備了控制器板,使整個工具的操作變得簡單直觀。此外,該裝置還配備了輸送機資產,可以有效地轉移晶圓並準確地放置在所需位置。ULVAC COVOT-6能夠以600mm/s的最高速度加載和卸載晶片,從而提供高效的工作流。此外,它的高精度允許最大徑向位置誤差為0.2mm。這樣可以確保每個晶片都精確地放置在烤箱/爐子上。COVOT-6還配備了清潔模型,以保持機器人手臂清潔。它還建有集塵機制,通過防止顆粒進入設備來進一步減少汙染。而且,它的耐用設計使它的運作長壽。最後,ULVAC COVOT-6晶片處理程序提供了6英寸晶片的快速、精確和自動化的傳輸和處理。該系統高效、準確、耐用,非常適合工業應用。
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