二手 ULVAC COVOT-6 #293664124 待售

ULVAC COVOT-6是一個晶片處理程序，旨在自動化在一個周期內傳輸和處理多達六個晶片的過程。COVOT-6設計用於以卓越的精度和速度傳輸晶圓基板,從而降低在此過程中產生顆粒或其他汙染物的可能性。ULVAC COVOT-6具有獨特的伺服電動機和線性比例系統，結合了高精度控制和可重復精度。該系統使COVOT-6能夠處理直徑達200 mm的晶片-幾乎是其他晶片處理機器的兩倍。該系統的可重復精度確保晶片之間的粒子或基板傳遞最小，晶片加載時間最小。ULVAC COVOT-6在晶片堆棧配置方面也具有高度的靈活性。它可以容納從普通200 mm晶片到2-4堆疊單元結構的幾何形狀,從而可以快速輕松地設置自定義堆棧配置。隨著堆叠的靈活性,COVOT-6可以支持多種晶圓材料、尺寸、重量和加工方法。ULVAC COVOT-6還具有一套高級警報和安全功能,可確保晶片在整個傳輸過程中保持安全。這些功能包括緊急停止、正確的傳輸距離和速度設置,以及檢測處理區域中任何外來對象的能力。這些特性還保證晶片的處理得到最高級別的照顧。COVOT-6是研發、設備制造和批量生產的理想工具,因為其成本效益有助於降低晶圓的傳輸、處理和加工成本。對於在處理不同尺寸、材料和配置的晶片時需要高度精度和可重復速度的應用來說，它也是一個絕佳的選擇。它的靈活性、準確性和安全性使其成為晶圓處理的可靠選擇。