二手 ULVAC XU-CM6000 #9170112 待售
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ULVAC XU-CM6000是一個完全集成的晶圓處理程序,設計用於各種應用。它是一種高度先進的晶圓處理解決方案,非常適合復雜的處理操作,可快速高效地處理任何類型的晶圓。XU-CM6000設計為完全集成到您的自動化設備中,為您的所有晶圓處理需求提供簡單可靠的解決方案。ULVAC XU-CM6000具有多種功能,可幫助管理處理過程。它可以設置為處理多達十四種不同的晶圓尺寸,並有兩個單獨的表面調理處理區域和各種工藝步驟。控制器具有廣泛的編程選項,使用戶能夠根據其流程的特定參數自定義系統。控制器還包括對最多四種不同語言的支持,允許用戶以他們的首選語言設置單位參數。XU-CM6000具有觸摸屏控制模塊,可確保輕松操作和顯示數據。該設備還具有離線控制機器,用於離線參數設置和監視。這樣可以確保高效的設置時間,並允許用戶監視和調整參數,而無需關閉工具電源。為了穩定控制,ULVAC XU-CM6000具有高精度的行星運動機構。這種設計保證了晶片定位和方向的平穩,以及晶片運動的精確控制。XU-CM6000還包含可編程的氣動夾具,可在處理過程中設置以固定晶片。ULVAC中集成的安全功能XU-CM6000確保平穩、安全的運行。晶圓處理器配備了ESD(靜電放電)保護,以及隔振、減震和冗余安全離合器。安全功能還確保資產可靠可靠。XU-CM6000具有廣泛的功能,確保它能夠滿足任何晶圓處理應用程序的需求。高度先進的型號操作簡單可靠,為各類應用提供高效、精確的晶圓處理。
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