二手 VARIAN E19013780 #148779 待售

VARIAN E19013780晶圓處理程序是一種自動機器人系統，設計用於在半導體晶圓制造環境中傳輸晶圓。晶圓處理程序由一個由X/Y/Z運動組件、晶圓傳輸臂和主CPU組成的大型機組成。其主機在整個過程中提供晶圓各組件的物理運動。X/Y/Z運動組件由X、Y和Z軸驅動電動機組成,這些電動機用於將載荷托架（通常在真空和重力滑軌上）移動。Z軸驅動電機能夠調節晶片在機器人臂上的真空和重力位置。晶圓傳遞臂是在轉移過程中承載和旋轉晶圓的沖壓式執行器。主CPU負責根據給出的指令控制移動和其他動作。晶片處理程序能夠在同一機床內以各種配置傳輸晶片。晶圓傳遞臂的配置能夠為晶圓傳遞和旋轉提供多達四個不同的位置。這些不同的位置被編程，使機器人機械手能夠準確地完成機床中所有的順序任務。晶圓處理程序利用許多傳感器，包括接近傳感器、燈塔、按鈕和限位開關，為控制晶圓運動提供反饋。機械臂具有在垂直和水平平面上操縱晶片的能力。晶片處理程序的循環時間取決於操作和在機床的多個組件之間傳輸晶片所需的時間。E19013780晶片處理程序設計用於在半導體制造環境中高效地傳輸、旋轉和排序晶片。它旨在以最短的循環時間和提高的產量提供晶圓的高速和精確的傳輸。晶片處理程序可減少人為錯誤並確保晶片在整個過程中的精確對準。機器人臂能夠根據其設計和配置提供最佳性能。