二手 YASKAWA 5010 #293652550 待售

YASKAWA 5010是由YASKAWA Electric設計用於半導體工業的晶圓處理程序。它是一種適用於各種過程任務的基於機械臂的晶圓處理程序。它能夠傳輸200毫米到600毫米大小的晶片，200毫米每小時最多傳輸250個晶片，300毫米每小時150個晶片。它配備了3個線性軸，允許其元件的精確和精確運動，以確保晶圓的精確處理。5010由鋁制框架和三線軸構成，由高度精確的伺服電機驅動。它具有視覺系統來識別和跟蹤晶圓的位置和方向。視覺系統可以糾正各種過程，確保晶片的精確放置。其精確的晶圓處理能力是由於其極快的響應和出色的重復性。YASKAWA 5010在其線性軸和旋轉軸上也能很快移動。其控制器基於PLC，用戶友好，易於配置。5010還具有高效、受控的真空夾緊機構。此功能提供晶片的安全保持,同時確保晶片表面不損壞。而且，真空夾緊機構有助於提供晶片的精確和準確的轉移。也可用於控制溫度，在晶圓加工過程中提供最佳工作環境。YASKAWA 5010的高級安全功能也值得註意。它具有用於數據存儲的軟觸摸EEPROM內存,可安全處理關鍵流程數據。憑借其用戶友好的GUI界面，可輕松設置和控制5010的運行。它還具有自我診斷功能,可以輕松隔離和糾正任何錯誤。綜上所述，YASKAWA 5010是一款可靠高效的晶圓處理程序，適用於多種工藝任務，可用於處理200毫米至600mm大小的晶圓。它具有先進的安全特性、視覺系統和精確的夾緊機構，確保晶片的準確可靠的處理。此外,它的控制器用戶友好且可配置,因此易於操作。