二手 YASKAWA CACR-PR01 #193015 待售

YASKAWA CACR-PR01是為半導體制造工藝設計的高速晶圓處理器。設計采用先進的伺服控制設備，用於高精度晶圓定位精度和快速、基於手勢的操作。CACR-PR01集成了兩個高精度直流伺服電機、一個節省時間的Ymaster控制器和一個用戶友好的觸摸屏，以提供可靠的晶圓處理系統。YASKAWA CACR-PR01能夠處理多達200個直徑為3-4英寸的晶片,最大重量為100克。它具有集成的提升/負載和卸載站,可安全、方便地轉移到單個盒式磁帶。CACR-PR01包括各種運動，包括傾斜、平移和旋轉，以實現精確的晶圓定位和定向。運動範圍以非接觸線性軸為特征，高精度分辨率分別為0.0025mm和0.008度。YASKAWA CACR-PR01配備高分辨率、LED背光彩色液晶觸摸屏，方便用戶操作。圖形用戶界面可快速訪問程序和菜單,從而實現快速設置和單位更改。高級診斷為改進晶圓處理過程提供反饋。CACR-PR01還具有PLC/NC兼容性,以及通過以太網將數據流式傳輸到PLC的功能。YASKAWA CACR-PR01包括一些安全功能,以提高安心度。它可以檢測到晶圓溢出或晶圓從升力/負載站釋放出來，以及突然的撞擊或負載差異，並立即停止操作。此外,CACR-PR01還在直流伺服電機上安裝了安全扭矩限制器,以防止因扭矩過大而造成的損壞。YASKAWA CACR-PR01專為處理時間敏感的晶圓制造過程而設計，可以在工藝周期之間快速移動晶圓。先進的運動控制機提供穩定可靠的晶圓運動。此外,易於使用的圖形界面允許簡單的運動控制和高精度的晶圓定向。與傳統的晶圓處理系統相比,這提供了更高的準確性和可重復性。此外,CACR-PR01還包括一系列安全功能,可確保處理晶片時的安心。