二手 YASKAWA XU-RC350D-J03 #293615372 待售

YASKAWA XU-RC350D-J03是一種晶片處理程序，旨在可靠地運輸、傾斜和自旋濕晶片，用於半導體加工和晶片探測。這臺機器是專門為300 mm和200 mm晶圓尺寸制造的。它具有垂直或水平配置,具有360°旋轉功能的固定碗。XU-RC350D-J03基於臺式運動設備和碗式運動系統。它能夠一次處理一個晶片，同時還能實現可重復傾斜和自旋濕操作。臺式運動單元具有高達900mm、0.01mm定位精度和10mm/sec高速運動的垂直運動。碗運動機具有完整的360°旋轉能力，可重復性為0.25°，最大加速度為250 °/s2。YASKAWA XU-RC350D-J03配備了自動定心裝置，根據工藝調整晶圓位置的區域大小。機器還可以配置晶片盒式存儲和晶片自動加載。XU-RC350D-J03設計既耐用又節能。晶圓加工的溫度範圍很廣，從-5 °C到90°C，可以在0.7MPa到1.1MPa的大氣壓範圍內運行。它具有內置診斷工具,用於通過以太網、以太網供電和/或USB進行預防性維護和外部網絡通信。YASKAWA XU-RC350D-J03設計小巧輕巧,便於在生產線內安裝。它還被設計為高度符合人體工程學和用戶友好，具有直觀的編程和操作，以減少學習曲線。XU-RC350D-J03是一個多功能的晶圓處理程序，為各種過程提供可靠的操作和靈活性。