二手 YASKAWA XU-RCM6501 #293656479 待售

YASKAWA XU-RCM6501是一種適用於半導體晶圓加工的機器人晶圓處理器。它被設計為能夠在受控環境中容納和運輸2英寸單晶片。XU-RCM6501提供了一系列用於自動化生產線的功能。YASKAWA XU-RCM6501有單臂和雙臂兩種配置。單臂配置能夠處理8英寸晶圓，最大容量75公斤。雙臂配置可處理8英寸晶圓，最大容量118.8公斤。它能夠實現高達每分鐘200個周期的速度。晶圓處理器配備了由伺服電動機和絕對編碼器驅動的高精度三軸機器人臂。這使得晶片的定位更加準確和可重復。它還包括視覺攝像機和激光距離測量系統，用於提高準確性和可重復性。XU-RCM6501具有提供360度旋轉的鰭狀臂,能夠處理直徑可達300 mm的晶片。鰭狀臂允許晶片在生產線中的多個站之間穿行。YASKAWA XU-RCM6501還包括一個綜合安全系統，旨在提高晶圓處理的安全性。安全系統包括機器人適用區域的掩護以及有助於防止意外錯誤的傳感器。此外，XU-RCM6501還提供了許多定制安裝的選項，如自動裝卸載具、自動清洗機器人手臂以及各種可編程速度設置。總體而言，YASKAWA XU-RCM6501是一種高效可靠的基於機器人的晶片處理程序，能夠準確、安全地處理各種尺寸的晶片。XU-RCM6501的先進特性使其成為需要一致高速處理晶片的生產線的理想選擇。