二手 YASKAWA XU-RVM4100 / XU-RVM4110 #293642781 待售

YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110 Wafer Handler是為半導體和光子器件中晶圓盤的高精度處理而設計的機器人設備。這個晶片處理程序由一個機械臂組成，它可以繞著直徑達600mm的晶片移動，裝有一個或兩個盒式磁帶或框架。機械臂有一個強大的馬達，能夠達到0.4Hz速度的水平和垂直運動。XU-RVM4100/ XU-RVM4110配有高分辨率視覺系統，可確保晶圓的精確定位和抓握，而不會產生不必要的激光幹擾和振動。晶圓處理程序基於XU-RVM4000系列機器人平臺，其特點是外形非常緊湊，用戶界面簡單。其先進的軟件能夠以可靠的精度對晶片和其他物體進行可靠的加載和卸載。此外,YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110支持多個使用點位置和靈活的模塊化設計,以滿足客戶的需求。晶圓處理能力每循環最多50個晶圓，最大晶圓容量350個晶圓片。晶圓處理程序設計具有雙重碰撞檢測傳感器和多個級別的ESD保護等多種安全功能。它還使用機器人手臂內部的壓力傳感器檢測機器人和晶圓之間的任何接觸，以防止損壞。XU-RVM4100/ XU-RVM4110符合SEMI-F47標準和CE標記。它還滿足SEMI 、 、 、 、 、E14和其他安全標準要求。YASKAWA XU-RVM4100/ XU-RVM4110晶片處理程序專為實現最大的靈活性、速度、精度和可靠性而設計。它為處理用於半導體和光子學應用的大批量晶片提供了可靠、經濟高效的解決方案。這種晶圓處理程序為用戶提供了更高的效率，更好的產量和生產增加。