二手晶圓步進機待售
晶片步進器是半導體製造過程中使用的關鍵工具，用於在矽晶片上產生集成電路（IC）。它充當投影光刻系統，將電路設計的錯綜復雜的圖樣傳遞到晶圓表面。晶片步進器的核心部件是透鏡系統。它由高質量的透鏡組成，以極高的精度聚焦和投射電路模式到晶片上。透鏡系統在確定圖樣傳輸的分辨率和精度方面起著至關重要的作用。晶片步進器采用先進的成像技術，利用紫外線光源來提高分辨率，並允許晶片上較小的特征尺寸。光源通過一個標線，一個包含電路圖樣的透明板，然後通過透鏡系統投射到晶圓表面。晶片在透鏡系統下方逐步移動，以暴露不同的區域，確保整個晶片有圖樣。晶圓步進器的關鍵參數包括曝光時間、數值孔徑、聚焦深度和磁場大小。曝光時間是指每個晶片步長的光照持續時間，而數值孔徑決定了系統的分辨率能力。聚焦深度表示透鏡和晶片之間允許的距離，允許晶片平坦度的變化。字段大小定義了可以在單個曝光中陣列化的區域。晶圓步進器對於半導體制造是必不可少的，使得能夠生產具有微型設備的高度復雜的IC。它們不斷提高分辨率的能力對於推動半導體工業的指數增長和促進先進技術應用的發展至關重要。
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