二手 ACCRETECH / TSK RVF600A #9410239 待售
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ID: 9410239
Coordinate measurement system
X, Y, Z: 600 x 500 x 300 mm
Platform: 800 x 1045 mm.
ACCRETECH/TSK RVF600A是一種晶圓測試和計量設備,設計用於高通量晶圓檢測和評估。它能夠測量電氣特性,分析缺陷和表面測量,如粗糙度和平坦度。該系統包括一個能夠檢測小至0.15 μ m的缺陷的高分辨率成像單元和各種模式類型,如圓形、線性和對角線模式。TSK RVF600A提供多種測試和計量能力,包括等離子體蝕刻、光刻剝離和深溝計量。它配備了一個內置的測試配方庫和先進的圖像處理算法,可以快速分析晶圓。該機能夠檢查直徑達200毫米的晶片,與矽、SOI、玻璃上矽(SOG)、藍寶石和玻璃上藍寶石(SOG)等多種晶片類型兼容。ACCRETECH RVF 600A的內置計量功能旨在幫助用戶準確測量和分析晶圓表面。這些特征包括表面粗糙度評估、平坦度評估和深度測量。該工具還支持各種模式檢查任務,如焦點/散焦、對齊/本地化、叠加校正和缺陷評估。此外,RVF600A還包括高度高級的基於圖像的檢查和缺陷檢測模式。這些功能允許資產同時獲取、比較和分析晶圓表面的多個視圖,從而實現全面的缺陷檢測和分析。總體而言,ACCRETECH/TSK RVF600A是一個強大的晶圓檢驗和分析模型,配備了一套先進的測試和計量能力。它以速度、精度和精度為重點設計,為用戶提供晶圓檢測和表征的綜合解決方案。
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