二手 ACCRETECH / TSK Surfcom 2000DX #293606726 待售
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ID: 293606726
優質的: 2007
Surface roughness measuring system
TIMS
Stone surface plate:1000 x 450 mm
Operating system: Windows XP
Measurement range:
X-Axis: 100 mm
2007 vintage.
ACCRETECH/TSK Surfcom 2000DX是一種晶圓測試和計量設備,其設計目的是精確測量模對相鄰曲面以及其他基板特性。該系統包括兩個組件：主單元和自動旋轉表。主單元裝有CCD攝像機和線性級，可以在晶片上移動以測量其特性。旋轉表可用於調整晶圓的角度或傾斜度，使表面拓撲能夠在三個維度上進行測量。TSK Surfcom 2000DX使用高分辨率CCD相機，可捕獲多達200萬像素。通過將這種精密光學與集成軟件算法相結合，該單元能夠檢測和測量精度高達30nm的特征。這使其能夠測量線寬、溝槽、步高、橫向表面粗糙度和層間介電填充等特性。該單元還具有圖像處理機器，可以實時處理多個圖像。該工具將數字圖像處理技術與先進的模式識別算法相結合，從晶圓圖像中提取臨界測量。該軟件還包括一個功能強大的可視化資產,它以2D和3D格式顯示捕獲的圖像和測量結果。該模型還能夠進行Die-to-Film （DTF）比較和分析。此過程可以將基板表面特征與保存在「膠片庫」中的地形模式進行精確比較。最後，設備支持廣泛的計量功能，如應力測試、集成電路分析、塗層厚度測量、非接觸晶圓映射等。總體而言,ACCRETECH Surfcom 2000DX是一個功能強大的晶圓測試和計量系統,能夠精確測量模對相鄰曲面和其他基板特征。它結合了光學和軟件算法，使其能夠以高達30nm的精度捕獲和分析圖像，而其模式識別算法和可視化工具讓用戶能夠快速分析數據。最後，該單元能夠進行DTF比較和分析，以確定晶圓的精確地形。
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