二手 ADE / KLA / TENCOR 3910 #149419 待售

ADE/KLA/TENCOR 3910是一種晶圓測試和計量設備，設計用於半導體計量實驗室。該系統能夠對各種半導體器件進行表征和可靠性測試,使公司能夠滿足其產品資格和生產要求。ADE 3910單元由39100分析儀、39130自動測量機和39165自動焊料測量工具組成。39100 Analyzer擁有7軸定位資產和高分辨率CCD攝像頭。這種組合允許對晶片表面進行非接觸、無損測量，包括臨界尺寸（CD）、目視檢查、薄膜分析和模具級測量。39130 AMS旨在處理多軸、多模式計量數據的分析,從而能夠同時測試和測量晶圓的頂面和底面。該模型可以處理大小型結構,並具有高分辨率的光斑尺寸掃描攝像頭和兩臺用於樣品定位的並行掃描儀,從而能夠對5微米分辨率以下的特征進行高質量的表面掃描。39165 ASMS專為測試和測量半導體晶片上焊接接頭和鍵墊的完整性而設計。它可以自動獲取焊料凸點的圖像，並能夠以0.5微米的高精度測量其高度和寬度。此外，該設備設計用於檢測焊接上的空隙、球、結節和其他缺陷。除了質量保證系統外，KLA 3910還提供了廣泛的晶圓級計量工具，包括軟缺陷和根本原因分析、相滑缺陷檢測、缺陷檢測速度以及廣域和線寬均勻性測量。3910系統還具有校準實用程序,可以微調計量測量和模具級地形數據的自動分析。總體而言，TENCOR 3910是一個結合了多種復雜計量系統能力的多合一單元。它能夠對半導體晶片進行完整的分析,確保半導體產品的性能和可靠性。憑借其靈活性和準確性,ADE/KLA/TENCOR 3910為工程師提供了完整而可靠的表征解決方案。