二手 ADE / KLA / TENCOR 3910 #9301295 待售

ADE/KLA/TENCOR 3910晶圓測試和計量設備是一種先進的自動化系統，用於評估半導體器件和材料如晶圓的變化。該單元同時配備了宏觀和微觀檢測系統，以提供晶圓狀態的準確數據。宏檢驗機檢測整個晶片表面，能夠檢測到大規模光刻相關的屈服問題。微檢查工具使用高分辨率成像和光譜檢測分辨率為0的個別缺陷。5 μ m或更高。資產配備了運輸和分期硬件，用於將晶片索引和運輸到站點，並通過檢查和計量過程。該模型旨在提供對過程和工作過程的實時輸入/輸出控制。此外，ADE 3910具有先進的設備控制器，集成了數據傳輸、晶圓處理、檢查和半導體晶圓測試的測量軟件。KLA 3910能夠快速識別分辨率高達0.3 μ m的缺陷。該系統使用自動缺陷識別技術，而不是勞動密集型手動顯微鏡檢查。這有助於快速準確地提供數據。該單元還可以測量電阻率、地形、暗電流、片狀電阻、電容等光學特性。該機還具有先進的特征計量能力，包括粗糙度、表面地形、輪廓、平坦度、高度等等。這允許分析特征線性、臨界尺寸、叠加等。3910還允許以微觀精度測量包括顛簸和墊片在內的3D形狀。總體而言,TENCOR 3910晶圓測試和計量工具是一種先進的自動化晶圓測試和計量資產,旨在為現代半導體器件和材料快速高效地提供準確的數據。ADE/KLA/TENCOR 3910具有廣泛的高分辨率成像和計量功能,是半導體晶圓測試和計量應用的理想選擇。