二手 ADE / KLA / TENCOR 5810 #9170075 待售

ADE / KLA / TENCOR 5810
ID: 9170075
Non contact capacitance gauging module (2) ADE 2248 Probes.
ADE/KLA/TENCOR 5810晶圓測試和計量設備是一種通用、高效的工具,旨在滿足半導體制造業的一系列應用需求。它具有高通量率和廣泛的晶圓測試功能,能夠實現快速、準確的晶圓測試過程。該系統采用創新和先進的全盒式先進散射計量技術,旨在測量晶圓表面散射光的角度分布。此功能可分析各種薄膜厚度,同時對單個晶片上的光掩模和波導圖樣進行精確的測量。此外,此功能還降低了復雜性和成本,因為可以同時進行多次測量。該單元建立在一個高度自動化的平臺上,包括一個內置的高分辨率TEM成像顯微鏡。這使得能夠進行各種各樣的圖像分析操作,從EBSD(電子反向散射衍射)到電容測量和蝕刻處理。例如,TEM成像顯微鏡可用於測量液滴大小、線密度和圖樣取向,這對於半導體芯片的缺陷檢測極為有用。此外,該機器還能夠執行先進的晶圓測試程序,如缺陷隔離和3-D表面表征。這種能力對於了解晶片的整體性能以及隔離過程相關缺陷是必不可少的。最後,ADE 5810晶圓測試和計量工具被設計為用戶友好,能夠實現更高的吞吐量速率,同時仍能提供高精度和精確度。該資產具有廣泛的特性和功能,對於那些希望快速、準確地測試晶片以實現多種目的的人來說,是一個理想的選擇。
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