二手 ADE / KLA / TENCOR 603 #9397720 待售

ADE/KLA/TENCOR 603是一種先進的晶圓測試和計量設備，旨在滿足最苛刻的工藝控制應用的需求。該系統對生產過程中不同級別的設備提供高速、高精度的表面分析測量。該裝置能夠檢測小到5nm的缺陷，確保了高度精確的計量和優異的屈服性能。ADE 603配備了快速掃描孵化器（FSI）和自動缺陷審查（ADR）軟件，比傳統晶圓檢測系統提供精確的測量和更高的精度。FSI使機器能夠快速測量設備表面特征,從而實現快速的數據采集和分析。ADR軟件可確保缺陷檢測的精確自動化,有助於提高產量性能和產量。KLA 603工具由多種工具選項支持,包括自動測量存檔（AMA）、多維觸摸探測器資產和基於激光幹涉測量的檢查工具。AMA是模型的獨特功能,允許自動歸檔尺寸、特征配置文件和模式識別報告,從而支持最高的準確性。擴展的觸摸探針設備能夠測量設備表面的4軸和10個點,可精確測量各個結構以及完整的輪廓測量。最後，基於激光幹涉測量的檢測工具能夠對表面和鈍化層進行非接觸式檢測。603是高端工藝控制應用的理想選擇,能夠精確測量和全面分析設備尺寸和形狀。該系統將高速、高精度的曲面分析測量、易於使用的刀具選項和高級體系結構相結合,可實現最大的產量和成本效益。