二手 ADE / KLA / TENCOR 6033 #9162771 待售

ID: 9162771
Wafer thickness measurement systems Wafer sorter.
ADE/KLA/TENCOR 6033晶片測試計量設備用於測量器件尺寸、MOSFET的臨界直流和交流電參數、雙極、電阻、電容器、非易失性存儲器(NVM)結構和矽晶片上的邏輯門等關鍵器件參數。該系統能夠收集和分析數百個數據點,以確保設備正確制造。該單元是為精確、速度和靈活性而設計的。它有一個自動晶片處理機,用於對直徑不超過8英寸的晶片進行分類。此外,該工具還提供了幾種獨特的功能,可以在單個晶片上對多個芯片進行晶圓級測試。由於其高分辨率的光學模型,該資產能夠以高精度和高精度測試高達400 um厚的設備。它采用了明場和暗場成像設備,通過捕獲曝光時間僅為幾百納秒的圖像提供了優越的信噪比。該系統配備了3軸級運動,使得能夠快速測量橫跨晶圓的大量測試數據點。ADE 6033單元提供了一套工具,可實現高通量毫米級和亞微米級的測量。它包括豐富的分辨率設置,可以快速靈活地設置和使用。測量能力包括:快速地形測量、快速IP計量、脈沖電參數測量、電容電壓曲線測量和柵極氧化物擊穿測量。此外,機器的集成軟件平臺減少了數據分析的時間和復雜性。通過利用工具的工具集,它可以快速識別工藝缺陷和晶片裝配、設備性能、閾值電壓、模具位置精度的中心以及數據精度。KLA 6033晶片測試和計量資產是一種先進的模型,它為晶片測試提供了更高的速度、準確性和靈活性。它提供了一整套測試工具,可快速準確地識別過程和設備缺陷。
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