二手 ADE / KLA / TENCOR 6033T #196422 待售

ADE/KLA/TENCOR 6033T是為1063 nm的先進半導體器件的光譜域紅外光致發光（PL）和激光散射場（SF）計量設計的晶圓測試和計量設備。系統配備了60倍放大光學顯微鏡，兩個中心波長可調的激光源，以及一個覆蓋光譜範圍200-1700 nm的光學單元。光學顯微鏡用於檢查晶片，對準和聚焦激光器。光學機器支持靜態和動態PL測量模式,允許用戶對晶圓的性能進行詳細測量。ADE 6033T還提供了一個實時粒子計數，這提供了一個洞察任何汙染的晶圓。KLA 6033T與提供直觀測試和數據分析圖形用戶界面的軟件套件集成，以及自動分析、設備匹配和糾錯的軟件算法。軟件還支持從一個接入點遠程監視和管理多個6033T系統。TENCOR 6033T提供了廣泛的功能,旨在使晶圓計量更容易、更準確。該工具使用高度敏感的檢測算法來檢測晶圓上的設備之間甚至很小的差異。它還可以識別缺陷，檢測異常器件，並以亞微米精度測量晶體管和其他內部節點。資產包括風冷765 nm激光器和超穩定532 nm激光器,能夠在光譜範圍內提供高達60mW的平均功率,用於PL測量。先進的激光器還提供了更高的精確度，用於捕獲精細細節和在寬波長範圍內進行晶圓級測試。總體而言,ADE/KLA/TENCOR 6033T是一種非常可靠和準確的晶圓測試和計量模型,旨在滿足半導體行業的苛刻需求。它提供了極致的精度、速度和靈活性,使用戶能夠快速準確地測量其設備的性能。