二手 ADE / KLA / TENCOR 6035 #134761 待售

ADE/KLA/TENCOR 6035是一種晶圓測試和計量設備,旨在分析與當前一代半導體工藝相關的生產級設備特性。該系統非常適合評估未封裝或封裝的元件和組件。ADE 6035由一系列組件組成,使設備能夠執行缺陷表征、測試屈服和高級工藝控制的關鍵測量。KLA 6035機的核心是機械結構，包括晶圓助推器和大面積、高速基板臺。晶圓助推器用於將樣品晶圓裝卸到表中。此功能能夠快速周轉晶片,確保準確的樣品處理和一致的高質量晶片測試結果。高速基板表的設計是通過一次實現多個晶片的並行測試和計量來提供高晶片吞吐量。TENCOR 6035配備了先進的自動光學檢查（AOI）工具。此資產能夠檢測和表征電氣短褲等缺陷並打開。它還允許用戶獲取高分辨率的地形和2D橫截面圖像。6035的自動顯微鏡使用了一種稱為亮場成像的檢查方法。明亮的現場成像能夠實時顯示精細的生產級功能。另外，ADE/KLA/TENCOR 6035顯微鏡還提供了晶圓缺陷的高分辨率圖像，如線寬、針孔、邊緣光刻、空隙、線緣粗糙度等。除了AOI之外，ADE 6035還配備了晶圓prober。此模型允許對晶片上的特定區域進行電氣測試,以便確定性能方面的任何差異。晶圓prober還包括允許控制prober的功能和操作的軟件。KLA 6035還能夠對晶圓的結構進行高精度計量。該設備的計量能力提供有關晶圓的材料性能和機械行為的定量信息。它能夠提供3D曲面測量,例如步高、地形和曲面粗糙度。它還能夠測量晶圓形狀和均勻度參數，包括輪廓、偏差和表面輪廓。總之，TENCOR 6035是一個自動化晶圓測試和計量系統，為缺陷表征、測試屈服測量和過程控制提供先進的功能。此單元由多個元件組成，如機械結構、AOI機、晶圓prober、計量能力等。6035工具還提供有關晶圓結構和特性的定量信息。