二手 ADE / KLA / TENCOR 6035 #293654293 待售

ADE/KLA/TENCOR 6035是由ADE Corp.開發的世界領先的晶圓測試和計量設備，該系統利用先進的非接觸式白光幹涉儀（WLI）進行半導體晶圓的檢測、測量和表征。WLI技術的工作原理是從晶圓收集幹涉圖樣，並從該圖樣計算表面地形。這是通過利用低失真圖像位移傳感器實現高空間精度的目標光束來實現的。然後將對象光束覆蓋到參考光束上,該參考光束根據z-piezometer伺服控制的XY級掃描樣品,從而在樣品中提供快速可靠的橫向掃描。ADE 6035能夠一次捕獲多達16個不同的參數，允許各種缺陷和計量測量，如粒子和表面地形、平坦度、步高、弓和弓的重復。這些測量可以在暗場和明場狀態下使用專門的光學濾波器進行。該單元還包括一個基於輪廓的曲面分析程序，允許用戶同時比較多個曲面的結果。此功能使用戶能夠可視化曲面數據中的模式和趨勢,從而有助於識別樣本之間的相關性。此外，該機器還具有重新測量功能，可隨時間仔細可靠地測量特定特征。最後,KLA 6035能夠為客戶提供用於示例管理的自定義布局,其功能包括作業克隆和快速加載特定測試。這對於那些經常同時檢查多個晶片的人來說特別有用。總而言之,6035晶圓測試和計量工具提供了一種高級的非接觸式WLI解決方案,它提供了多參數測量、輪廓曲面分析和可定制的樣品管理等一系列優點。對於那些需要同時檢查和測量多個晶片的半導體行業人士來說，這項資產是理想的選擇。